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氣凈化設備

第I種

直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氣中的氧氣進行反應，消化掉氣中的氧氣，從而達到脫氧的目的，經過分子篩吸收掉氣中的水份，使氣的含水量小于1ppm。

第II種

是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、、二氧化碳、等氣體經吸收處理后，氣的純度可達到6個九，這種工藝生產出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。

第I種方法設備投資小，第II種方法設備純化純度高但投資相對較大。

特種氣體的應用

電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體，它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。電子行業常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域，其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體，高純供氣系統報價，其中常用的有20～30種。

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電子特氣管道系統氦檢漏方法

特氣系統氣體管道氦檢漏的順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內向檢漏法(噴氦法)采用管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣，外部應采用吸檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

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