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手套箱故障分析

一、風機跳閘

1. 檢查設備是否有溶劑過濾系統，觀察與溶劑過濾系統有關的蝶閥開啟是否正確；

2. 是否風機未開啟而設備已經開始工作了？這說明凈化柱上的擋板閥的反饋位置不對；

3. 也可能造成斷路器跳閘或變頻器自保的原因就是負載過大。

二、風機出現雜音軸承缺油，需***人士拆開風機，加油保養。

三、手套箱不斷漏氣

1. 設備本身密封出現問題，保壓檢漏；

2. 過渡艙艙門未關嚴；

3. 腳踏是否被東西壓住；

4. 凈化系統管路電磁閥被雜質卡住。

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手套箱的日常維護保養

1.注意：通電后，若有無法啟動的問題，一種可能性是因為真空泵電源線連接松動，另一種原因是真空泵自身的開關未開啟。

2.要樣品放入手套箱時，盡量使用小過渡艙，打開過渡艙門前需先注意閥門腔上的壓力表指針是否在零的位置。若是，則可直接打開；若否，則需先將閥門腔下的開關轉至“填充”的位置，使氣體進入手套箱過渡艙內，再將開關轉回中間位置，此時可以打開過渡艙門將樣品放入，再將艙門關上。放置樣品時，需小心不要用手觸摸過渡艙內壁，請佩戴手套取放樣品。

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真空熱蒸發鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質量關系到器件質量和壽命。在有機真空腔室中設有多個放置有機材料的蒸發舟，加熱蒸發舟蒸鍍有機 材料；在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發舟，金屬蒸發舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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