| 電源電壓 | 220V |
|---|---|
| 規格 | 1200*50 |
| 類型 | 拋光機 |
| 驅動方式 | 電動 |
| 外形尺寸 | 1500*1600*3000 |
| 應用領域 | 機械 |
| 重量 | 5000 |
| 品牌 | 日本speedfam |
| 型號 | 16B-5P |
| 加工定制 | 是 |
| 加工批量 | 50L |
一、設備用途及特點
用途：本雙面研磨機主要用于藍寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學玻璃、石英晶體、其它半導體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光。
特點：1. 創新是設計的基本理念，本設備在設計時認真分析和比較了國內外同類設備的結構、控制和功能特點，綜合、歸納并采用了眾多用戶的成功經驗和合理建議。著力提高設備的技術含量、運行精度和運行平穩性。
2. 采用先進的臺灣產PLC程序控制器，控制整機的動作，自動化程度高，并由與之匹配的大屏幕觸摸屏作界面，顯示當前整機狀態，實現人機對話，操作一目了然。
3. 采用變頻調速及全齒輪傳動，使整機工作時起動平穩、運轉穩定，尤其在低速運轉時，克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現象。
4. 采用亞德克生產的氣動執行元件與SMC生產的氣動控制元件配套，實現研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調節，為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。
5. 大齒圈可以升降，且升降位置可以調節。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數量進行調節。
6. 減速機用杭州杰牌的，型號是150-20與075-30。
7. 采用雙電機和雙變頻驅動；產地是無錫亨達高溫變頻電機。主電機（9KW/1440rpm）帶動上、下研磨盤和齒圈；用副電機（1.5KW/1400rpm）帶動太陽輪。副電機與主電機按比例同步調速。
8. 配備有自動潤滑裝備，對齒輪進行潤滑。
9. 本設備可設定和存儲二十套不同的工藝參數（壓力、速度、時間、圈數）供使用者選用。
10. 配有主氣缸端鎖機構，可方便、安全鎖定上研磨盤。
主要技術參數
1）研磨盤規格：上盤Φ965×Φ385×45mm 下盤Φ965×Φ385×35mm
2）行星輪規格:Dp12 Z=152 a=20° （外徑：Φ325.96）
3）放置行星輪個數n 3≤n≤6
4）研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm
5）研磨工件理想規格: Φ150 **大工件規格：對角線300mm
6）齒圈升降高度:35mm
7）下研磨盤轉速: 0-50r
8）主氣缸: Φ125×450mm
9）升降氣缸: Φ80×250mm
10）端鎖氣缸: Φ32×15mm
11）主電機:YVP132M-4 9KW
12）副電機: YVP90L-4 1.5KW
13）砂泵電機: AB-100 250
14）設備外形尺寸：1700×1350×2650mm
1700×1350×2650mm
15）設備重量：3100Kg
3100Kg
主機精度：
下拋光盤端面跳動：0.05mm
上下拋光盤平面度：0.02mm
太陽輪徑向跳動：0.06mm
